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Europäisches Patent · EP3452634 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3452634
Anmeldenummer
EP16719871
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.05.2016
Veröffentlicht
13.03.2019
Erteilt
06.09.2023
Schutz endet spätestens
01.05.2036
Nächste Jahresgebühr fällig
31.05.2027
IPC-Klassen
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/35 (2006.01)
C23C 14/54 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
PCT-Anmeldung
PCT/EP2016/059776 02.05.2016
PCT-Veröffentlichung
WO2017/190763 09.11.2017
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.06.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.06.2026

  2. 01.06.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.06.2025

  3. 17.07.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 17.07.2024

  4. 02.06.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 02.06.2024

  5. 13.09.2023

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    MICHELI & CIE SA, 122, rue de Genève,, CP 61, 1226 Thônex

    Veröffentlicht in Swissreg am 13.09.2023

  6. 06.09.2023

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 06.09.2023

Beteiligte

Inhaberin

Applied Materials, Inc.

3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054, US

Vertretung

MICHELI & CIE SA

122, rue de Genève, CP 61, 1226 Thônex

Erfinderin/Erfinder

PARK, Hyun Chan

63755 Alzenau, DE

BHOOLOKAM, Ajay Sampath

60322 Frankfurt, DE

GEBELE, Thomas

63579 Freigericht, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.