HALTEVORRICHTUNG

Europäisches Patent · EP3477691 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3477691
Anmeldenummer
EP17815100
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
26.05.2017
Veröffentlicht
01.05.2019
Erteilt
09.03.2022
Gelöscht
23.12.2022
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/67 (2006.01)
H01L 21/687 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
Priorität
JP 2016124984 23.06.2016
PCT-Anmeldung
PCT/JP2017/019685 26.05.2017
PCT-Veröffentlichung
WO2017/221631 28.12.2017
Anmeldesprache
Japanisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 18.01.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.01.2023

  2. 23.12.2022

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.12.2022

  3. 09.03.2022

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 09.03.2022

Beteiligte

Inhaberin

ULVAC, INC.

Ulvac, Inc.

2500, Hagisono, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP

Ulvac Cryogenics Inc.

1222-1, Yabata, Chigasaki-shi, Kanagawa 253-0085, JP

Erfinderin/Erfinder

TASHIRO Yukihito

Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP

FUKUMOTO Hidenori

Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP

TERASHIMA Mitsuki

Chigasaki-shi Kanagawa 253-0085, JP

HIDAKA Kosuke

Chigasaki-shi Kanagawa 253-0085, JP

ITOH Junichi

Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.