RETIKELBEHÄLTER MIT SEITLICHER AUFNAHME EINES RETIKELS

Europäisches Patent · EP3504591 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3504591
Anmeldenummer
EP17761738
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
24.08.2017
Veröffentlicht
03.07.2019
Erteilt
11.05.2022
Gelöscht
23.03.2023
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G03F 1/66 (2012.01)
G03F 7/20 (2006.01)
H01L 21/673 (2006.01)
Priorität
US 201662380377 P 27.08.2016
US 201662405518 P 07.10.2016
US 201662422229 P 15.11.2016
PCT-Anmeldung
PCT/US2017/048396 24.08.2017
PCT-Veröffentlichung
WO2018/044678 08.03.2018
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.03.2023

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.03.2023

  2. 22.03.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 22.03.2023

  3. 11.05.2022

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 11.05.2022

Beteiligte

Inhaberin

Entegris, Inc.

129 Concord Road, Billerica, MA 01821, US

Erfinderin/Erfinder

EGGUM, Shawn

Lonsdale Minnesota 55046, US

RASCHKE, Russ

Chanhassen Minnesota 55317, US

GREGERSON, Barry

Deephaven Minnesota 55331, US

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