SUBSTRATVERARBEITUNGSVORRICHTUNG
Europäisches Patent · EP3510633 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP3510633
- Anmeldenummer
- EP17768909
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 05.09.2017
- Veröffentlicht
- 17.07.2019
- Erteilt
- 31.05.2023
- Gelöscht
- 24.04.2024
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/677 (2006.01)H01L 21/687 (2006.01)
- Priorität
- US 201662385150 P 08.09.2016US 201715693871 01.09.2017
- PCT-Anmeldung
- PCT/US2017/050085 05.09.2017
- PCT-Veröffentlichung
- WO2018/048802 15.03.2018
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 24.04.2024
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 24.04.2024
- 10.04.2024
Änderung
Veröffentlicht in Swissreg am 10.04.2024
- 31.05.2023
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 31.05.2023
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
LETOURNEAU, Kyle, M.
Derry, NH 03038, US
CAVINS, Jeffrey, A.
Salem, NH 03079, US
JARZYNKA, Dave
Sudbury, MA 01776, US
SHARROCK, Leigh, F.
Londonderry, NH 03053, US
MCKINNEY, Stacy
Pepperell, MA 01463, US
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