HOCHENERGIE-ATOMLAGENÄTZUNG

Europäisches Patent · EP3692567 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3692567
Anmeldenummer
EP18864801
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.10.2018
Veröffentlicht
12.08.2020
Erteilt
07.08.2024
Gelöscht
23.05.2025
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/3065 (2006.01)
H01L 21/311 (2006.01)
H01L 21/3213 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
H01L 29/66 (2006.01)
H01L 29/78 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorität
US 201762569443 P 06.10.2017
US 201762599613 P 15.12.2017
US 201816148939 01.10.2018
PCT-Anmeldung
PCT/US2018/054001 02.10.2018
PCT-Veröffentlichung
WO2019/070737 11.04.2019
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 18.06.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.06.2025

  2. 23.05.2025

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Schutztitelstatus
    Aktiv → Gelöscht
    Löschdatum
    23.05.2025
    Löschgrund
    Nichtzahlung Jahresgebühr

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.05.2025

  3. 07.08.2024

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 07.08.2024

Beteiligte

Inhaberin

Lam Research Corporation

4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538, US

Erfinderin/Erfinder

MUKHERJEE, Tamal

Fremont, California 94536, US

KANARIK, Keren Jacobs

Los Altos, California 94024, US

YANG, Wenbing

Fremont, California 94538, US

TAN, Samantha

Fremont, California 94555, US

PAN, Yang

Los Altos, California 94024, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.