HERSTELLUNG VON BEUGUNGSGITTERN

Europäisches Patent · EP3814840 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3814840
Anmeldenummer
EP19824762
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
27.06.2019
Veröffentlicht
05.05.2021
Erteilt
05.11.2025
Schutz endet spätestens
26.06.2039
Nächste Jahresgebühr fällig
30.06.2026
IPC-Klassen
G03F 7/00 (2006.01)
G03F 7/20 (2006.01)
G03F 1/80 (2012.01)
H01L 21/033 (2006.01)
H01L 21/02 (2006.01)
H01L 21/306 (2006.01)
G02B 6/124 (2006.01)
G02B 6/136 (2006.01)
G02B 5/18 (2006.01)
Priorität
US 201862691421 P 28.06.2018
US 201862692286 P 29.06.2018
PCT-Anmeldung
PCT/US2019/039615 27.06.2019
PCT-Veröffentlichung
WO2020/006308 02.01.2020
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 16.09.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 16.09.2026

  2. 05.11.2025

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 05.11.2025

Beteiligte

Inhaberin

Applied Materials, Inc.

3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054, US

Erfinderin/Erfinder

GODET, Ludovic

Sunnyvale, California 94086, US

MCMILLAN, Wayne

San Jose, California 95120, US

MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger

San Jose, California 95128, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.