PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG

Europäisches Patent · EP3843122 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3843122
Anmeldenummer
EP21150886
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
11.01.2021
Veröffentlicht
30.06.2021
Erteilt
14.12.2022
Gelöscht
24.08.2024
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01J 37/32 (2006.01)
H01L 21/677 (2006.01)
Priorität
JP 2019234389 25.12.2019
Anmeldesprache
Japanisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 24.08.2024

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.08.2024

  2. 25.10.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 25.10.2023

  3. 14.12.2022

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 14.12.2022

Beteiligte

Inhaberin

Plasma Ion Assist Co., Ltd.

117, Mori-cho Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 612-8373, JP

Erfinderin/Erfinder

SUZUKI, Hirokazu

Kyoto 617-0002, JP

SUZUKI, Yasuo

Shiga 520-0225, JP

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.