ELEKTROSTATISCHES FUTTER

Europäisches Patent · EP3852135 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3852135
Anmeldenummer
EP19859818
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
27.08.2019
Veröffentlicht
21.07.2021
Erteilt
21.06.2023
Gelöscht
23.03.2024
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/683 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
H01L 23/32 (2006.01)
Priorität
CN 201811073364 14.09.2018
PCT-Anmeldung
PCT/CN2019/102828 27.08.2019
PCT-Veröffentlichung
WO2020/052432 19.03.2020
Anmeldesprache
Chinesisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.05.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2024

  2. 23.03.2024

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.03.2024

  3. 21.06.2023

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 21.06.2023

Beteiligte

Inhaberin

Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.

No. 8 Wenchang Avenue Beijing Economic-Technological Development Area, Beijing 100176, CN

Erfinderin/Erfinder

LIU, Pengliang

Beijing 100176, CN

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