SUBSTRATBEARBEITUNGSANLAGE

Europäisches Patent · EP3916764 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3916764
Anmeldenummer
EP21177601
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
17.01.2013
Veröffentlicht
01.12.2021
Erteilt
14.09.2022
Gelöscht
24.08.2023
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/67 (2006.01)
H01L 21/677 (2006.01)
Priorität
DE 102012100929 06.02.2012
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 24.08.2023

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.08.2023

  2. 26.07.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 26.07.2023

  3. 14.09.2022

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 14.09.2022

Beteiligte

Inhaberin

Meyer Burger (Germany) GmbH

An der Baumschule 6-8, 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE

Erfinderin/Erfinder

Kehr, Mirko

09439 Amtsberg, DE

Mai, Joachim

04603 Nobitz, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.