KÜHLMITTELMIKROLECKSENSOR FÜR EIN VAKUUMSYSTEM

Europäisches Patent · EP4182655 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP4182655
Anmeldenummer
EP21862611
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
25.08.2021
Veröffentlicht
24.05.2023
Erteilt
07.10.2026
Schutz endet spätestens
24.08.2041
Nächste Jahresgebühr fällig
31.08.2027
IPC-Klassen
G01M 3/28 (2006.01)
G01M 3/34 (2006.01)
G01M 3/20 (2006.01)
G01M 3/22 (2006.01)
Priorität
US 202063071373 P 28.08.2020
US 202117408106 20.08.2021
PCT-Anmeldung
PCT/US2021/047426 25.08.2021
PCT-Veröffentlichung
WO2022/046826 03.03.2022
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 07.10.2026

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 07.10.2026

Beteiligte

Inhaberin

KLA Corporation

Legal Department One Technology Drive, Milpitas, California 95035, US

Erfinderin/Erfinder

FARADZHEV, Nadir S.

Los Gatos, California 95032, US

SUSHCHIKH, Michael

San Jose, California 95122, US

HARB, Salam

Los Gatos, California 95032, US

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