SIN-REINIGUNG MIT CCP-PLASMA ODER RPS-REINIGUNG
Europäisches Patent · EP4363629 · In Kraft
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP4363629
- Anmeldenummer
- EP22834031
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- In Kraft
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 28.06.2022
- Veröffentlicht
- 08.05.2024
- Erteilt
- 17.06.2026
- Schutz endet spätestens
- 27.06.2042
- Nächste Jahresgebühr fällig
- 30.06.2026
- IPC-Klassen
- C23C 14/56 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)C23C 14/50 (2006.01)H01J 37/34 (2006.01)H01J 37/32 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)
- Priorität
- US 202117362925 29.06.2021
- PCT-Anmeldung
- PCT/US2022/035236 28.06.2022
- PCT-Veröffentlichung
- WO2023/278388 05.01.2023
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 17.06.2026
Erteilt
- Schriftstatus
- Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
- Schutztitelstatus
- Initiiert → Aktiv
Veröffentlicht in Swissreg am 17.06.2026
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Santa Clara, California 95054, US
Bangalore, Karnataka 560072, IN
Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.