HOLLENSTEIN, Christoph

CH-1095 Lutry

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PLASMABESCHICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN ODER BEHANDELN DER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATS

Europäisches Patent · EP2394497 · Erfinderin/Erfinder

Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen

Europäisches Patent · EP1554413 · Erfinderin/Erfinder