Beyeler, Felix
Regendorf
Marken, Designs und Patente
ENTWURF UND SCHNITTSTELLE FÜR MIKROHERGESTELLTE ABTASTUNG VON KRAFTSENSOREN FÜR KOMBINIERTE KRAFT- UND POSITIONSERFASSUNG
Europäisches Patent · EP2960637 · Erfinderin/Erfinder
System zur kombinierten, sondenbasierten mechanischen und elektrischen Prüfung von MEMS
Europäisches Patent · EP2896594 · Erfinderin/Erfinder