Hirscher, Hans, Dr.
CH-7310 Bad Ragaz
Marken, Designs und Patente
Werkstückträger für ein scheibenförmiges Werkstück sowie Vakuumprozesskammer
Europäisches Patent · EP0397029 · Erfinderin/Erfinder
Hubtisch und Transportverfahren
Europäisches Patent · EP0396923 · Erfinderin/Erfinder
Verfahren und Vorrichtung zur Uebertragung thermischer Energie auf bzw. von einem plattenförmigen Substrat
Europäisches Patent · EP0318641 · Erfinderin/Erfinder