VERFAHREN ZUR OPTISCHEN AUSWERTUNG DER BETRIEBSGENAUIGKEIT EINES DIGITALEN MIKROSKOPS, VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINES BEWEGLICHEN TISCHES EINES DIGITALEN MIKROSKOPS UND FOTOMASKE ZUR OPTISCHEN AUSWERTUNG DER BETRIEBSGENAUIGKEIT EINES DIGITALEN MIKROSKOPS
Europäisches Patent · EP4083684 · Erfinderin/Erfinder