Versum Materials US, LLC

Tempe, AZ

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REINIGUNG NACH EINER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)

EP4204529

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KOAXIALER VENTILBLOCK MIT BEGRENZTEM VOLUMEN

EP4094002

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VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES FILMS

EP4065746

Gelöscht
ENTGASER, ENTGASUNGSSYSTEME UND VERFAHREN ZU DEREN VERWENDUNG

EP3924085

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CHEMISCHER UND MECHANISCHER POLIERSCHLAMM ZUR ISOLIERUNG VON FLACHEN GRÄBEN

EP3702424

Gelöscht
CHEMISCH-MECHANISCHES PLANARISIERUNGS(CMP)-POLIEREN DURCH FLACHE GRABENISOLATION MIT ABSTIMMBAREN SILIZIUMOXID- UND SILIZIUMNITRIDABTRAGSRATEN

EP3689988

Gelöscht
GRABENISOLATIONS (STI)-POLIEREN MIT CHEMISCH-MECHANISCHEM PLANARISIEREN MIT NIEDRIGER SCHLEIFMITTELKONZENTRATION UND EINER KOMBINATION VON CHEMISCHEN ADDITIVEN

EP3686257

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SYSTEM UND VERFAHREN ZUM TROCKNEN UND ANALYTISCHEN TESTEN VON BEHÄLTERN

EP3686533

Gelöscht
ÄTZLÖSUNG MIT SILICIUMOXIDKORROSIONSHEMMER UND VERWENDUNGSVERFAHREN DAFÜR

EP3666852

Gelöscht
UNTERDRÜCKUNG DER SIN-ENTFERNUNGSRATEN UND REDUZIERUNG DES OXID-TRENCH-DISHING FÜR PROZESS DER FLACHGRABENISOLATION (STI)

EP3647384

Gelöscht
VERBESSERUNG DER BESEITIGUNGSRATE VON BARRIERESCHLAMM

EP3628714

Gelöscht
HOCHOXID- VS NITRIDSELEKTIVITÄT, TRENCH-DISHING MIT NIEDRIGEM UND GLEICHMÄSSIGEM OXIDGEHALT BEIM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN UND PLANARISIEREN MIT FLACHGRABENISOLATION (STI)

EP3628713

Gelöscht
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM- UND STICKSTOFFHALTIGEN SCHICHTEN

EP3620549

Gelöscht
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMHALTIGEN SCHICHTEN MIT HOHEM KOHLENSTOFFGEHALT

EP3620550

Gelöscht
STABILE ALKENYL ODER ALKINYL ENTHALTENDE ORGANOSILICIUMVORLÄUFERZUSAMMENSETZUNGEN

EP3841104

Gelöscht
OXIDPOLIERZUSAMMENSETZUNG ZUR CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG

EP3608379

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CHEMISCH-MECHANISCHE PLANARISIERUNG (CMP) VON WOLFRAM MIT GERINGER MULDENBILDUNG UND TOPOGRAFIE MIT NIEDRIGER EROSION

EP3604468

Gelöscht
ZUSAMMENSETZUNG ZUR TITAN-NITRID-HARTMASKENENTFERNUNG UND REINIGUNG VON ÄTZRESTEN

EP3599634

Gelöscht
ZUSAMMENSETZUNGEN ZUM REINIGEN VON RÜCKSTÄNDEN NACH DEM ÄTZEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON

EP3599633

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CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN VON WOLFRAM FÜR REDUZIERTE OXIDEROSION

EP3597711

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CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN FÜR NIEDRIGES OXID-TRENCH-DISHING

EP3587525

Gelöscht
REINIGUNG NACH DER CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIERUNG (CMP)

EP3588535

Gelöscht
BIS(DIAZADIEN)KOBALT-VERBINDUNGEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DAVON

EP3584250

Gelöscht
FOTOLACKABZIEHZUSAMMENSETZUNG UND -VERFAHREN

EP3573091

Gelöscht
PHOTOLACKENTFERNER

EP3553811

Gelöscht
ORGANOAMINOFUNKTIONALISIERTE CYCLISCHE OLIGOSILOXANE ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FOLIEN

EP3553204

Gelöscht
VERWENDUNG EINER ÄTZLÖSUNG FÜR WOLFRAM-WORTLEITUNGSAUSSPARUNG

EP3540764

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PHOTOLACKENTFERNER

EP3537474

Gelöscht
ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/GERMANIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3537473

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PHOTOLACKENTFERNER

EP3502225

Gelöscht
SILACYCLISCHE VERBINDUNGEN UND VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILICIUMHALTIGEN FILMEN UNTER VERWENDUNG DAVON

EP3476971

Gelöscht
KOMPOSITPARTIKEL, VERFAHREN ZUR VERFEINERUNG UND VERWENDUNG DAVON

EP3476910

Gelöscht
ABLÖSERLÖSUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG VON ABLÖSERLÖSUNGEN

EP3688132

Gelöscht
ZUSAMMENSETZUNGEN UND VERFAHREN ZUR VERHINDERUNG DES KOLLABIERENS VON STRUKTUREN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS WÄHREND DER TROCKNUNG

EP3688131

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ÄTZLÖSUNG ZUR GLEICHZEITIGEN ENTFERNUNG VON SILICIUM UND SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3684887

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VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON SILIKONHALTIGEN SCHICHTEN

EP3682041

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON SILICIUM AUS EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3447109

Gelöscht
ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG EINER SILICIUM-GERMANIUM-LEGIERUNG AUS EINEM SILICIUM-GERMANIUM/SILICIUM-STAPEL WÄHREND DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3447791

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ÄTZLÖSUNG ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON TANTALNITRID ÜBER TITANNITRID BEI DER HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS

EP3447792

Gelöscht
ZUSAMMENSETZUNG ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN PLANARISIEREN (CMP) UND VERFAHREN DAFÜR FÜR KUPFER- UND SILICIUMDIOXIDDURCHKONTAKTIERUNGSANWENDUNGEN

EP3444309

Gelöscht

Inhaberin von 165 Patenten, 8 in Kraft.

Aus Swissreg, dem Register des Eidgenössischen Instituts für Geistiges Eigentum: Schweizer Patente und europäische Patente mit Wirkung in der Schweiz. Ein Patent steht hier, wenn der Name seiner Inhaberin der Name dieser Rechtseinheit ist.