Systeme d'etching par plasma à chambres multiples

Europäisches Patent · EP0264945 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP0264945
Anmeldenummer
EP87115508
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
22.10.1987
Veröffentlicht
27.04.1988
Erteilt
13.03.1996
Gelöscht
13.03.1996
Grund
Im Einspruchsverfahren widerrufen
IPC-Klassen
H01L 21/00 (2006.01)
H01J 37/20 (2006.01)
H01J 37/18 (2006.01)
Priorität
US 923125 24.10.1986
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 25.06.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 25.06.2024

  2. 15.10.1997

    Änderung

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 19 des Jahres 1997

  3. 28.06.1996

    Erteilt

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 12 des Jahres 1996

  4. 15.03.1996

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    A. Braun, Braun, Héritier,, Eschmann AG, Patentanwälte, Holbeinstrasse 36-38, 4051 Basel

    Veröffentlicht im PMMBl Nr. 5 des Jahres 1996

Beteiligte

Inhaberin

General Signal Corporation

GENERAL SIGNAL CORPORATION

PO Box 10010 High Ridge Park, Stamford Connecticut 06904, US

Vertretung

A. Braun, Braun, Héritier, Eschmann AG, Patentanwälte

A. Braun, Braun, Héritier, Eschmann AG Patentanwälte

Holbeinstrasse 36-38, 4051 Basel

Erfinderin/Erfinder

Maher, Joseph A.

South Hamilton Massachusetts, US

Vowles, E. John

Goffstown Massachusetts, US

Napoli, Joseph D.

Winham New Hampshire, US

Zafiropoulo, Arthur W.

Manchester Massachusetts, US

Miller, Mark W.

Burlington Massachusetts, US

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