Vakuumschleusenanordnung

Europäisches Patent · EP1536455 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP1536455
Anmeldenummer
EP04027993
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
25.11.2004
Veröffentlicht
01.06.2005
Erteilt
16.08.2006
Gelöscht
30.11.2015
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/00 (2006.01)
C23C 14/56 (2006.01)
Priorität
DE 10355683 28.11.2003
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 22.06.2016

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 22.06.2016

  2. 31.01.2008

    Adresse geändert

    Vertreter/in
    Vossius & Partner, Grellingerstrasse 60, 4052 Basel → Vossius & Partner, Nadelberg 3, 4051 Basel

    Veröffentlicht im +pat+ Nr. 2 des Jahres 2008

  3. 15.09.2006

    Erteilt

    Veröffentlicht im +pat+ Nr. 17 des Jahres 2006

  4. 15.09.2006

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    Vossius & Partner, Grellingerstrasse 60, 4052 Basel

    Veröffentlicht im +pat+ Nr. 17 des Jahres 2006

Beteiligte

Inhaberin

Singulus Technologies AG

Hanauer Landstrasse 103, 63796 Kahl/Main, DE

Vertretung

Vossius & Partner

Nadelberg 3, 4051 Basel

Erfinderin/Erfinder

Kempf, Stefan

63755 Alzenau, DE

Merz, Thomas

63739 Aschaffenburg, DE

Mücke, Michael Dr.

61206 Wöllstadt, DE

Runkel, Steffen Dr.

63584 Gründau Lieblos, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.