Plasmaätzverfahren und Ätzkammer

Europäisches Patent · EP1949406 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP1949406
Anmeldenummer
EP05788045
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
05.10.2005
Veröffentlicht
30.07.2008
Erteilt
08.12.2010
Gelöscht
31.10.2011
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01J 37/32 (2006.01)
C23C 16/00 (2006.01)
C23C 14/00 (2006.01)
PCT-Anmeldung
PCT/EP2005/010741 05.10.2005
PCT-Veröffentlichung
WO2007/038967 12.04.2007
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.05.2012

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.05.2012

  2. 08.12.2010

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 08.12.2010

Beteiligte

Inhaberin

PVA TePla AG

Im Westpark 10-12, 35435 Wettenberg, DE

Erfinderin/Erfinder

HILL, Jeff Alistair

81379 Munich, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.