Verfahren zur Plasmadampfabscheidung
Europäisches Patent · EP2210966 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP2210966
- Anmeldenummer
- EP10275006
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 25.01.2010
- Veröffentlicht
- 28.07.2010
- Erteilt
- 13.07.2011
- Gelöscht
- 31.01.2014
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- C23C 14/35 (2006.01)
- Priorität
- GB 0901157 26.01.2009
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 20.08.2014
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 20.08.2014
- 13.07.2011
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 13.07.2011
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
Carruthers, Mark
Newport, Gwent NP10 8TB, GB
Burgess, Stephen
Ebbw Vale, Gwent NP23 5NA, GB
Wilby, Anthony
Yate, Bristol BS37 7YJ, GB
Rastogi, Amit
Newport, Gwent NP20 5AE, GB
Rich, Paul
Wotton-Under-Edge, Gloucestershire GL12, GB
Rimmer, Nicholas
Cardiff, South Glamorgan CF23 5HD, GB
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