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Europäisches Patent · EP2408275 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP2408275
- Anmeldenummer
- EP10750873
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 10.03.2010
- Veröffentlicht
- 18.01.2012
- Erteilt
- 11.01.2017
- Gelöscht
- 31.03.2017
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H05H 1/46 (2006.01)C23C 16/505 (2006.01)H01L 21/205 (2006.01)H01L 21/3065 (2006.01)H01J 37/32 (2006.01)
- Priorität
- JP 2009057327 11.03.2009
- PCT-Anmeldung
- PCT/JP2010/054017 10.03.2010
- PCT-Veröffentlichung
- WO2010/104120 16.09.2010
- Anmeldesprache
- Japanisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 18.10.2017
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 18.10.2017
- 11.01.2017
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 11.01.2017
Beteiligte
Inhaberin
Erfinderin/Erfinder
SETSUHARA, Yuichi
Suita-shi Osaka 565-0871, JP
NISHIMURA, Eiichi
Nirasaki City Yamanashi 407-0192, JP
EBE, Akinori
Kyoto-shi Kyoto 601-8355, JP
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