PROZESSAPPARAT MIT EINER ON-THE-FLY SUBSTRATZENTRIERUNG
Europäisches Patent · EP3020065 · Gelöscht
Registereintrag
- Publikationsnummer
- EP3020065
- Anmeldenummer
- EP14744247
- Art
- Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
- Status
- Gelöscht
- Patentschrift
- Erteilt
- Angemeldet
- 08.07.2014
- Veröffentlicht
- 18.05.2016
- Erteilt
- 17.01.2018
- Gelöscht
- 31.07.2018
- Grund
- Jahresgebühr nicht bezahlt
- IPC-Klassen
- H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/677 (2006.01)
- Priorität
- US 201361843685 P 08.07.2013
- PCT-Anmeldung
- PCT/US2014/045725 08.07.2014
- PCT-Veröffentlichung
- WO2015/006311 15.01.2015
- Anmeldesprache
- Englisch
- Quelle
- Swissreg
Verlauf
Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.
- 20.02.2019
Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt
Veröffentlicht in Swissreg am 20.02.2019
- 17.01.2018
Erteilt
Veröffentlicht in Swissreg am 17.01.2018
Beteiligte
Erfinderin/Erfinder
SHARROCK, Leigh, F.
Londonderry, NH 03053, US
Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.