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Europäisches Patent · EP3127147 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3127147
Anmeldenummer
EP16785079
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
05.04.2016
Veröffentlicht
08.02.2017
Erteilt
02.09.2020
Schutz endet spätestens
04.04.2036
Nächste Jahresgebühr fällig
30.04.2027
IPC-Klassen
H01L 21/66 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
B07C 5/10 (2006.01)
B07C 5/344 (2006.01)
H01L 21/683 (2006.01)
G01B 11/00 (2006.01)
B07C 5/342 (2006.01)
G01N 21/64 (2006.01)
G01N 21/95 (2006.01)
Priorität
US 201562154521 P 29.04.2015
PCT-Anmeldung
PCT/US2016/026035 05.04.2016
PCT-Veröffentlichung
WO2016/175989 03.11.2016
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.05.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2026

  2. 01.05.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2025

  3. 01.05.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2024

  4. 01.05.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.05.2023

  5. 10.09.2020

    Vertretung eingetragen

    Vertreter/in
    MICHELI & CIE SA, 122, Rue de Genève, Case postale 61, 1226 Thônex

    Veröffentlicht in Swissreg am 10.09.2020

  6. 02.09.2020

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 02.09.2020

Beteiligte

Inhaberin

Applied Materials, Inc.

3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054, US

Vertretung

MICHELI & CIE SA

122, Rue de Genève Case postale 61, 1226 Thônex

Erfinderin/Erfinder

SCHLEZINGER, Asaf

Sunnyvale, California 94087, US

STOPPER, Markus J.

79279 Voerstetten, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.