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Europäisches Patent · EP3457432 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3457432
Anmeldenummer
EP17796019
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
28.04.2017
Veröffentlicht
20.03.2019
Erteilt
20.01.2021
Gelöscht
20.11.2021
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/205 (2006.01)
C23C 16/44 (2006.01)
C23C 16/46 (2006.01)
C23C 16/32 (2006.01)
C23C 16/455 (2006.01)
C23C 16/458 (2006.01)
C30B 25/12 (2006.01)
C30B 29/36 (2006.01)
C30B 25/10 (2006.01)
Priorität
JP 2016095417 11.05.2016
PCT-Anmeldung
PCT/JP2017/016930 28.04.2017
PCT-Veröffentlichung
WO2017/195658 16.11.2017
Anmeldesprache
Japanisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.12.2021

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.12.2021

  2. 20.11.2021

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 20.11.2021

  3. 20.01.2021

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 20.01.2021

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

KOBAYASHI Hirokatsu

Nirasaki City Yamanashi 407-8511, JP

HARASHIMA Masayuki

Nirasaki City Yamanashi 407-8511, JP

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