VERDAMPFUNGSQUELLE FÜR EINEN CVD-REAKTOR

Europäisches Patent · EP4367286 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP4367286
Anmeldenummer
EP22744146
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
01.07.2022
Veröffentlicht
15.05.2024
Erteilt
25.02.2026
Schutz endet spätestens
30.06.2042
Nächste Jahresgebühr fällig
31.07.2026
IPC-Klassen
C23C 16/455 (2006.01)
C23C 16/52 (2006.01)
C23C 16/448 (2006.01)
C30B 25/14 (2006.01)
Priorität
DE 102021117457 06.07.2021
PCT-Anmeldung
PCT/EP2022/068288 01.07.2022
PCT-Veröffentlichung
WO2023/280715 12.01.2023
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 25.02.2026

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 25.02.2026

Beteiligte

Inhaberin

AIXTRON SE

Aixtron SE

Dornkaulstrasse 2, 52134 Herzogenrath, DE

Erfinderin/Erfinder

LAUFFER, Peter Sebald

52070 Aachen, DE

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