ZYGO CORPORATION

Middlefield, CT 06455-0488

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INTERFEROMETRISCHE CODIERER MIT VERWENDUNG VON SPEKTRALANALYSE

EP3169969

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POSITIONSÜBERWACHUNGSSYSTEM MIT VERRINGERTEM RAUSCHEN

EP2904347

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INTERFEROMETRISCHES KODIERSYSTEM MIT DOPPELTEM DURCHGANG

EP2776792

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EP2776790

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WÄRMESTABILE OPTISCHE SENSORHALTERUNG

EP2777066

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INTERFEROMETRISCHE ENCODER-SYSTEME

EP2553401

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LITHOGRAFIEVERFAHREN UND LITHOGRAFIESYSTEM

EP3006902

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GLEICHPFAD-INTERFEROMETER

EP2454554

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KORREKTUR VON ABTASTFEHLERN FÜR NIEDERKOHÄRENZ-ABTASTINTERFEROMETRIE

EP2238430

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PHASENVERSCHIEBUNGSINTERFEROMETRIE BEI VIBRATION

EP2359089

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ANALYSE DER OBERFLÄCHENSTRUKTUR UNTER VERWENDUNG VON RASTERINTERFEROMETRIE

EP2232195

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VERFAHREN UND SYSTEM ZUM AUSMESSEN VON DÜNNSCHICHTSTRUKTUREN MITTELS NIEDRIGKOHÄRENZINTERFEROMETRIE

EP1883781

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INTERFEROMETER ZUR BESTIMMUNG VON EIGENSCHAFTEN EINER OBJEKTOBERFLÄCHE

EP1853874

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Interferometer zur Bestimmung von Eigenschaften einer Objektoberfläche

EP2108919

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OBERFLÄCHEN-TRIANGULATION UND -PROFILIERUNG

EP1664931

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INTERFEROMETRISCHE ANALYSE VON OBERFLÄCHEN

EP1664932

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Interferometrische Analyse von Oberflächen

EP2275868

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PROFILAUFNAHME VON KOMPLEXEN OBERFLÄCHENSTRUKTUREN UNTER VERWENDUNG VON ABTASTINTERFEROMETRIE

EP1604168

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VERFAHREN ZUR MESSUNG DES PROFILS KOMPLEXER OBERFLÄCHENSTRUKTUREN MIT HILFE VON SCANNINGINTERFEROMETRY

EP1604169

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MESSUNG KOMPLEXER OBERFLÄCHENFORMEN UNTER VERWENDUNG EINER SPHÄRISCHEN WELLENFRONT

EP1436570

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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HÖHENABTASTENDEN INTERFEROMETRIE MIT PHASENDIFFERENZ-ANALYSE

EP1332332

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PHASENVERSCHIEBUNGSINTERFEROMETRIE UNTER ANWENDUNG VON FREQUENZTRANSFORMATION

EP1307702

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SYSTEM UND VERFAHREN ZUR QUANTIFIZIERUNG VON NICHTLINEARITÄTEN IN INTERFEROMETRISCHEN SYSTEMEN

EP1303736

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