Brooks Automation (Germany) GmbH

78256 Steißlingen

Patents

LAGERSYSTEM ZUM LAGERN VON PHOTOMASKEN

EP4607273

filed Feb 20, 2024
VERFAHREN UND SYSTEM ZUR INSPEKTION EINES INNENBEHÄLTERS ODER EINES AUSSENBEHÄLTERS EINES EUV-BEHÄLTERS

EP4002008

filed Nov 23, 2020
EUV-RETIKEL-SPEICHER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN

EP4066060

filed Apr 3, 2020
BEHÄLTERINSPEKTIONSVERFAHREN UND INSPEKTIONSSYSTEM

EP3413340

filed Jun 8, 2017
INSPEKTIONSSYSTEM UND INSPEKTIONSVERFAHREN VON SUBSTRATBEHÄLTERN

EP3413339

filed Jun 8, 2017
VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER SPS MIT EINEM PC-PROGRAMM

EP3413147

filed Jun 7, 2017
RETIKELFACH UND DIFFUSORPLATTE

EP3291289

filed Aug 30, 2016
REZIRKULATIONS-SPÜLSYSTEM

EP3080838

filed Dec 13, 2014
REINIGUNGSSYSTEME UND VERFAHREN FÜR ARTIKEL ZUR LAGERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3061126

filed Oct 20, 2014
REINIGUNGSSYSTEME UND VERFAHREN FÜR ARTIKEL ZUR LAGERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3926667

filed Oct 20, 2014
More trademarks (7)
HALBLEITERSPEICHERSYSTEME UND -VERFAHREN

EP2727137

filed Jun 28, 2012
HALBLEITERREINIGERSYSTEME UND VERFAHREN

EP3693990

filed Jun 23, 2012
KERNMODUL FÜR MASCHINEN EINER HALBLEITERHERSTELLUNGSANLAGE

EP4078664

Deleted
FEUCHTEREGELUNG IN HALBLEITERSYSTEMEN

EP3360156

Deleted
BEHÄLTERLAGERUNGS-ERGÄNZUNGSTEIL FÜR EINE VORRICHTUNG ZUM STAPELN VON WERKSTÜCKEN

EP2754174

Deleted
BESTANDÜBERWACHUNG VON DURCHLAUFLAGERN MITTELS RFID

EP2580716

Deleted
RFID-Kommunikationssystem zur Konfiguration und Parametrierung

EP2302557

Deleted

Holder of 17 patents, 12 in force.

From Swissreg, the register of the Federal Institute of Intellectual Property: Swiss patents and European patents with effect in Switzerland. A patent is listed here when its holder’s name is this entity’s.