Integrated Dynamics Engineering GmbH

65479 Raunheim

Patents

KOMPENSATIONSELEMENT, VERFAHREN UND SYSTEM ZUM AKTIVEN DÄMPFEN EINES MEDIUMS

EP4466480

deponida ils 12-01-2023

VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG VON SUBSTRATEN, INSBESONDERE VON WAFERN, MASKEN ODER FLAT PANEL DISPLAYS, MIT EINER MASCHINE DER HALBLEITERINDUSTRIE

EP3907754

deponida ils 05-05-2021

SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM MIT EINEM MAGNETAKTOR SOWIE MAGNETAKTOR

EP3942197

deponida ils 18-03-2020

STATIONÄRES SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM SOWIE VERFAHREN ZU DESSEN REGELUNG

EP3726094

deponida ils 15-04-2019

SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM SOWIE DÄMPFER FÜR EIN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM

EP3597959

deponida ils 17-07-2018

SCHWINGUNGSISOLATOR MIT EINER VERTIKAL WIRKSAMEN PNEUMATISCHEN FEDER

EP3181944

deponida ils 16-12-2015

VERFAHREN ZUR REGELUNG EINES AKTIVEN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEMS

EP3098654

deponida ils 28-05-2015

Schwingungsisolator mit pneumatischer Feder

EP2998611

deponida ils 18-09-2014

Schwingungsisolationssystem mit in Teilbereiche unterteilter Auflage sowie Verfahren zu dessen Regelung

EP2846062

deponida ils 10-09-2013

VERFAHREN ZUR DIMENSIONIERUNG EINES SCHWINGUNGSISOLATORS

EP2772661

deponida ils 28-02-2013

Ulteriuras marcas (40)

Eine Schraubenfeder umfassender Schwingungsisolator

EP2759736

deponida ils 29-01-2013

Stationäres Schwingungsisolationssystem sowie Verfahren zur Regelung eines Schwingungsisolationssystems

EP2759735

deponida ils 29-01-2013

Aktiver Tilger für tieffrequent schwingende Strukturen

EP2706034

deponida ils 10-09-2012

Integrierbare Magnetfeldkompensation für den Einsatz an Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen

EP2544214

deponida ils 02-07-2012

Kompensation elektromagnetischer Störfelder

EP2261763

deponida ils 14-06-2010

Magnetfeldkompensation

EP2259081

deponida ils 02-06-2010

Kombinierter Bewegungssensor zum Einsatz in Feedback-Regelsystemen zur Schwingungsisolation

EP2221667

deponida ils 08-02-2010

AKTIVES SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM

EP2250392

deponida ils 29-01-2009

Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum

EP2071211

deponida ils 04-12-2008

Regelungssystem zur aktiven Schwingungsisolation einer gelagerten Nutzlast

EP1956459

deponida ils 05-02-2007

Schwingungsisolationssystem

EP1803969

deponida ils 13-11-2006

Kombiniertes Motion-Control-System

EP1921502

deponida ils 08-11-2006

SYSTEM ZUR MAGNETFELDKOMPENSATION

EP3620806

ANLAGE ZUR PROZESSIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN SOWIE HEBEEINRICHTUNG

EP3319118

PNEUMATISCHER AKTOR SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES AKTIVEN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM

EP3260732

AKTIVES STATIONÄRES SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM

EP3260733

SERVICEEINRICHTUNG

EP3220413

ENDEFFECTOR EINES WAFERHANDLINGSYSTEMS SOWIE WAFERHANDLINGSYSTEM

EP3093879

Lithographiesystem und Verfahren zur Regelung eines Lithographiesystems

EP2128700

Luftlager mit Berücksichtigung hochfrequenter Resonanzen

EP1959149

Verfahren zur Anpassung eines Schwingungsisolationssystems

EP1959158

Verfahren und Vorrichtung zur Frequenzgangkorrektur in Schwingungsisolationssystemen

EP1995492

Schwingungsisolationssystem mit pneumatischem Tiefpassfilter

EP1803970

Luftlager mit reduziertem Rauschen

EP1803966

Aktives Schwingungsisolationssystem mittels hysteresefreier pneumatischer Lagerung

EP1895189

Magnetfeldkompensationssystem mit erhöhter Bandbreite

EP1873543

Aktives Schwingungsisolationssystem mit verbesserter Sensoren-/Aktorenabstimmung

EP1870614

Aktives Schwingungsisolationssystem mit verbesserter Wirkung gegen seismische Schwingungen

EP1865220

VORRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG DER RELATIVPOSITION MEHRERER EINRICHTUNGEN

EP1938163

Aktives Schwingungsisolationssystem mit einem kombinierten Positionsaktor

EP1857878

Lager zur Schwingungsisolation mit verringerter horizontaler Steifigkeit

EP1803964

Schwingungsisolationssystem mit Störgrössenaufschaltung von vorhersehbaren Kraftstörungen

EP1803967

Druckgaszufuhrsystem für Gasfedern

EP1803968

Aktives Schwingungsisolationssystem

EP1845281

Verfahren und Vorrichtung zur Regelung von Schwingungsisolationssystemen

EP1840681

Steuerung eines aktiven Schwingungsisolationssystems

EP1750192

Tragevorrichtung für vibrationsempfindliche Komponente

EP1744215

Roboter-Führungsvorrichtung zur präzisen Bewegung eines Gegenstandes

EP1566244

Vorrichtung und Verfahren zur Handhabung und zum Transport scheibenartiger Elemente

EP1463107

Elektrostatischer Greifer

EP1387392

Possessur da 51 patents, 22 en vigur.

Da Swissreg, il register da l’Institut federal da la proprietad intellectuala: patents svizzers e patents europeics cun effect en Svizra. In patent figurescha qua, sch’il num da ses possessur è il num da questa unitad giuridica.