Brooks Automation (Germany) GmbH

78256 Steißlingen

Patente

LAGERSYSTEM ZUM LAGERN VON PHOTOMASKEN

EP4607273

hinterlegt am 20.02.2024
VERFAHREN UND SYSTEM ZUR INSPEKTION EINES INNENBEHÄLTERS ODER EINES AUSSENBEHÄLTERS EINES EUV-BEHÄLTERS

EP4002008

hinterlegt am 23.11.2020
EUV-RETIKEL-SPEICHER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN

EP4066060

hinterlegt am 03.04.2020
BEHÄLTERINSPEKTIONSVERFAHREN UND INSPEKTIONSSYSTEM

EP3413340

hinterlegt am 08.06.2017
INSPEKTIONSSYSTEM UND INSPEKTIONSVERFAHREN VON SUBSTRATBEHÄLTERN

EP3413339

hinterlegt am 08.06.2017
VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER SPS MIT EINEM PC-PROGRAMM

EP3413147

hinterlegt am 07.06.2017
RETIKELFACH UND DIFFUSORPLATTE

EP3291289

hinterlegt am 30.08.2016
REZIRKULATIONS-SPÜLSYSTEM

EP3080838

hinterlegt am 13.12.2014
REINIGUNGSSYSTEME UND VERFAHREN FÜR ARTIKEL ZUR LAGERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3061126

hinterlegt am 20.10.2014
REINIGUNGSSYSTEME UND VERFAHREN FÜR ARTIKEL ZUR LAGERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN

EP3926667

hinterlegt am 20.10.2014
Weitere Marken (7)
HALBLEITERSPEICHERSYSTEME UND -VERFAHREN

EP2727137

hinterlegt am 28.06.2012
HALBLEITERREINIGERSYSTEME UND VERFAHREN

EP3693990

hinterlegt am 23.06.2012
KERNMODUL FÜR MASCHINEN EINER HALBLEITERHERSTELLUNGSANLAGE

EP4078664

Gelöscht
FEUCHTEREGELUNG IN HALBLEITERSYSTEMEN

EP3360156

Gelöscht
BEHÄLTERLAGERUNGS-ERGÄNZUNGSTEIL FÜR EINE VORRICHTUNG ZUM STAPELN VON WERKSTÜCKEN

EP2754174

Gelöscht
BESTANDÜBERWACHUNG VON DURCHLAUFLAGERN MITTELS RFID

EP2580716

Gelöscht
RFID-Kommunikationssystem zur Konfiguration und Parametrierung

EP2302557

Gelöscht

Inhaberin von 17 Patenten, 12 in Kraft.

Aus Swissreg, dem Register des Eidgenössischen Instituts für Geistiges Eigentum: Schweizer Patente und europäische Patente mit Wirkung in der Schweiz. Ein Patent steht hier, wenn der Name seiner Inhaberin der Name dieser Rechtseinheit ist.