SUBSTRATHALTER UND LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG

Europäisches Patent · EP2810128 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP2810128
Anmeldenummer
EP13700893
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
17.01.2013
Veröffentlicht
10.12.2014
Erteilt
02.10.2019
Schutz endet spätestens
16.01.2033
Nächste Jahresgebühr fällig
31.01.2027
IPC-Klassen
G03F 7/20 (2006.01)
Priorität
US 201261594857 P 03.02.2012
US 201261621648 P 09.04.2012
US 201261621660 P 09.04.2012
PCT-Anmeldung
PCT/EP2013/050818 17.01.2013
PCT-Veröffentlichung
WO2013/113568 08.08.2013
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.02.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.02.2026

  2. 01.02.2025

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.02.2025

  3. 01.02.2024

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.02.2024

  4. 01.02.2023

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.02.2023

  5. 02.10.2019

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 02.10.2019

Beteiligte

Inhaberin

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Erfinderin/Erfinder

KARADE, Yogesh

NL-5611 GJ Eindhoven, NL

DZIOMKINA, Nina

NL-5658 BN Eindhoven, NL

TEN KATE, Nicolaas

NL-4286 EC Almkerk, NL

RODENBURG, Elisabeth

NL-5591EW Heeze, NL

LAFARRE, Raymond

NL-5607 JS Helmond, NL

DONDERS, Sjoerd

NL-5261 CA Vught, NL

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.