ENDEFFECTOR EINES WAFERHANDLINGSYSTEMS SOWIE WAFERHANDLINGSYSTEM

Europäisches Patent · EP3093879 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3093879
Anmeldenummer
EP15167537
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
13.05.2015
Veröffentlicht
16.11.2016
Erteilt
07.07.2021
Gelöscht
23.12.2022
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/68 (2006.01)
H01L 21/687 (2006.01)
Anmeldesprache
Deutsch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.12.2022

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.12.2022

  2. 18.05.2022

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.05.2022

  3. 07.07.2021

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 07.07.2021

Beteiligte

Erfinderin/Erfinder

Birkner, Andreas

07743 Jena, DE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.