Integrated Dynamics Engineering GmbH
65479 Raunheim
Patente
KOMPENSATIONSELEMENT, VERFAHREN UND SYSTEM ZUM AKTIVEN DÄMPFEN EINES MEDIUMS
EP4466480
VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG VON SUBSTRATEN, INSBESONDERE VON WAFERN, MASKEN ODER FLAT PANEL DISPLAYS, MIT EINER MASCHINE DER HALBLEITERINDUSTRIE
EP3907754
SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM MIT EINEM MAGNETAKTOR SOWIE MAGNETAKTOR
EP3942197
STATIONÄRES SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM SOWIE VERFAHREN ZU DESSEN REGELUNG
EP3726094
SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM SOWIE DÄMPFER FÜR EIN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM
EP3597959
SCHWINGUNGSISOLATOR MIT EINER VERTIKAL WIRKSAMEN PNEUMATISCHEN FEDER
EP3181944
VERFAHREN ZUR REGELUNG EINES AKTIVEN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEMS
EP3098654
Schwingungsisolator mit pneumatischer Feder
EP2998611
Schwingungsisolationssystem mit in Teilbereiche unterteilter Auflage sowie Verfahren zu dessen Regelung
EP2846062
VERFAHREN ZUR DIMENSIONIERUNG EINES SCHWINGUNGSISOLATORS
EP2772661
Weitere Marken (40)
Eine Schraubenfeder umfassender Schwingungsisolator
EP2759736
Stationäres Schwingungsisolationssystem sowie Verfahren zur Regelung eines Schwingungsisolationssystems
EP2759735
Aktiver Tilger für tieffrequent schwingende Strukturen
EP2706034
Integrierbare Magnetfeldkompensation für den Einsatz an Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen
EP2544214
Kompensation elektromagnetischer Störfelder
EP2261763
Magnetfeldkompensation
EP2259081
Kombinierter Bewegungssensor zum Einsatz in Feedback-Regelsystemen zur Schwingungsisolation
EP2221667
AKTIVES SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM
EP2250392
Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum
EP2071211
Regelungssystem zur aktiven Schwingungsisolation einer gelagerten Nutzlast
EP1956459
Schwingungsisolationssystem
EP1803969
Kombiniertes Motion-Control-System
EP1921502
SYSTEM ZUR MAGNETFELDKOMPENSATION
EP3620806
ANLAGE ZUR PROZESSIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN SOWIE HEBEEINRICHTUNG
EP3319118
PNEUMATISCHER AKTOR SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES AKTIVEN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM
EP3260732
AKTIVES STATIONÄRES SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM
EP3260733
SERVICEEINRICHTUNG
EP3220413
ENDEFFECTOR EINES WAFERHANDLINGSYSTEMS SOWIE WAFERHANDLINGSYSTEM
EP3093879
Lithographiesystem und Verfahren zur Regelung eines Lithographiesystems
EP2128700
Luftlager mit Berücksichtigung hochfrequenter Resonanzen
EP1959149
Verfahren zur Anpassung eines Schwingungsisolationssystems
EP1959158
Verfahren und Vorrichtung zur Frequenzgangkorrektur in Schwingungsisolationssystemen
EP1995492
Schwingungsisolationssystem mit pneumatischem Tiefpassfilter
EP1803970
Luftlager mit reduziertem Rauschen
EP1803966
Aktives Schwingungsisolationssystem mittels hysteresefreier pneumatischer Lagerung
EP1895189
Magnetfeldkompensationssystem mit erhöhter Bandbreite
EP1873543
Aktives Schwingungsisolationssystem mit verbesserter Sensoren-/Aktorenabstimmung
EP1870614
Aktives Schwingungsisolationssystem mit verbesserter Wirkung gegen seismische Schwingungen
EP1865220
VORRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG DER RELATIVPOSITION MEHRERER EINRICHTUNGEN
EP1938163
Aktives Schwingungsisolationssystem mit einem kombinierten Positionsaktor
EP1857878
Lager zur Schwingungsisolation mit verringerter horizontaler Steifigkeit
EP1803964
Schwingungsisolationssystem mit Störgrössenaufschaltung von vorhersehbaren Kraftstörungen
EP1803967
Druckgaszufuhrsystem für Gasfedern
EP1803968
Aktives Schwingungsisolationssystem
EP1845281
Verfahren und Vorrichtung zur Regelung von Schwingungsisolationssystemen
EP1840681
Steuerung eines aktiven Schwingungsisolationssystems
EP1750192
Tragevorrichtung für vibrationsempfindliche Komponente
EP1744215
Roboter-Führungsvorrichtung zur präzisen Bewegung eines Gegenstandes
EP1566244
Vorrichtung und Verfahren zur Handhabung und zum Transport scheibenartiger Elemente
EP1463107
Elektrostatischer Greifer
EP1387392
Inhaberin von 51 Patenten, 22 in Kraft.
Aus Swissreg, dem Register des Eidgenössischen Instituts für Geistiges Eigentum: Schweizer Patente und europäische Patente mit Wirkung in der Schweiz. Ein Patent steht hier, wenn der Name seiner Inhaberin der Name dieser Rechtseinheit ist.