MEMBRANANORDNUNG

Europäisches Patent · EP3391140 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3391140
Anmeldenummer
EP16805144
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
02.12.2016
Veröffentlicht
24.10.2018
Erteilt
09.09.2026
Schutz endet spätestens
01.12.2036
Nächste Jahresgebühr fällig
31.12.2026
IPC-Klassen
G03F 1/64 (2012.01)
G03F 1/66 (2012.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Priorität
EP 15199845 14.12.2015
EP 16157967 01.03.2016
EP 16163962 06.04.2016
PCT-Anmeldung
PCT/EP2016/079584 02.12.2016
PCT-Veröffentlichung
WO2017/102378 22.06.2017
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 09.09.2026

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 09.09.2026

Beteiligte

Inhaberin

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Erfinderin/Erfinder

BROUNS, Derk Servatius Gertruda

5500 AH Veldhoven, NL

JANSSEN, Paul

5500 AH Veldhoven, NL

KAMALI, Mohammad Reza

5500 AH Veldhoven, NL

PÉTER, Mária

5500 AH Veldhoven, NL

VAN DER ZANDE, Willem Joan

5500 AH Veldhoven, NL

VAN ZWOL, Pieter-Jan

5500 AH Veldhoven, NL

VLES, David Ferdinand

5500 AH Veldhoven, NL

VOORTHUIJZEN, Willem-Pieter

5500 AH Veldhoven, NL

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.