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Europäisches Patent · EP3548971 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3548971
Anmeldenummer
EP18745244
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
24.01.2018
Veröffentlicht
09.10.2019
Erteilt
22.12.2021
Gelöscht
24.08.2022
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
G03F 7/20 (2006.01)
H01L 21/027 (2006.01)
Priorität
US 201762450454 P 25.01.2017
US 201815867485 10.01.2018
PCT-Anmeldung
PCT/US2018/015104 24.01.2018
PCT-Veröffentlichung
WO2018/140534 02.08.2018
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 02.11.2022

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 02.11.2022

  2. 24.08.2022

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Veröffentlicht in Swissreg am 24.08.2022

  3. 22.12.2021

    Erteilt

    Veröffentlicht in Swissreg am 22.12.2021

Beteiligte

Inhaberin

KLA - Tencor Corporation

Kla-Tencor Corporation

Legal Department One Technology Drive, Milpitas, California 95035, US

Erfinderin/Erfinder

ADEL, Michael A.

30900 Ya'akov Zichron, IL

CHOI, Dongsub

Hwasung City Gyeonggi Province, KR

PIERSON, William

Austin, Texas 78730, US

YERUSHALMI, Liran

30900 Zicron Yaacob, IL

ALUMOT, Dror

7647001 Rehovot, IL

SUBRAHMANYAN, Pradeep

Cupertino, California 95014, US

HEO, Hoyoung

Gwangju-si Gyeonggi-do 31250, KR

MANASSEN, Amnon

34892 Haifa, IL

LEVY, Ady

San Jose, California 95125, US

ROBINSON, John

Austin, Texas 78731, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.