LITHOGRAFISCHES VERFAHREN

Europäisches Patent · EP3627228 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3627228
Anmeldenummer
EP19206439
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
04.09.2018
Veröffentlicht
25.03.2020
Erteilt
14.01.2026
Schutz endet spätestens
03.09.2038
Nächste Jahresgebühr fällig
30.09.2026
IPC-Klassen
G03F 9/00 (2006.01)
G03F 7/00 (2006.01)
Priorität
EP 17193637 28.09.2017
EP 18164511 28.03.2018
EP 18166720 11.04.2018
Abgezweigt von
EP18768811
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 14.01.2026

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 14.01.2026

Beteiligte

Inhaberin

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Erfinderin/Erfinder

BIJNEN, Franciscus Godefridus Casper

5500 AH Veldhoven, NL

BRINKHOF, Ralph

5500 AH Veldhoven, NL

CEKLI, Hakki, Ergun

5500 AH Veldhoven, NL

COX, Matthijs

5500 AH Veldhoven, NL

ERDAMAR, Ahmet Koray

5500 AH Veldhoven, NL

GOOSEN, Maikel Robert

5500 AH Veldhoven, NL

HULSEBOS, Edo Maria

5500 AH Veldhoven, NL

KOU, Weitian

5500 AH Veldhoven, NL

MEGENS, Henricus Johannes Lambertus

5500 AH Veldhoven, NL

RIJPSTRA, Manouk

5500 AH Veldhoven, NL

ROELOFS, Willem Seine Christian

5500 AH Veldhoven, NL

TINNEMANS, Patricius Aloysius Jacobus

5500 AH Veldhoven, NL

VAN DE VEN, Wendy Johanna Martina

5500 AH Veldhoven, NL

VAN T WESTEINDE, Maaike

5500 AH Veldhoven, NL

VERHEES, Loek Johannes Petrus

5500 AH Veldhoven, NL

VU, Tran Thanh Thuy

5500 AH Veldhoven, NL

YAGUBIZADE, Hadi

5500 AH Veldhoven, NL

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.