FEHLERERKENNUNG AUF TRANSPARENTEN ODER TRANSLUZENTEN WAFERN

Europäisches Patent · EP3646372 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3646372
Anmeldenummer
EP18848116
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
23.08.2018
Veröffentlicht
06.05.2020
Erteilt
01.10.2025
Schutz endet spätestens
22.08.2038
Nächste Jahresgebühr fällig
31.08.2026
IPC-Klassen
H01L 21/66 (2006.01)
G03F 7/20 (2006.01)
G06T 7/00 (2017.01)
G01N 21/88 (2006.01)
G01N 21/958 (2006.01)
Priorität
US 201762549775 P 24.08.2017
US 201715803091 03.11.2017
PCT-Anmeldung
PCT/US2018/047620 23.08.2018
PCT-Veröffentlichung
WO2019/040679 28.02.2019
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 12.08.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 12.08.2026

  2. 01.10.2025

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.10.2025

Beteiligte

Inhaberin

KLA - Tencor Corporation

Kla-Tencor Corporation

Legal Department One Technology Drive, Milpitas, California 95035, US

Erfinderin/Erfinder

JIANG, Xuguang

Sunnyvale, California 94087, US

ZHANG, Yong

Cupertino, California 95014, US

DING, Yiwu

Danville, California 94526, US

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.