OBJEKTPOSITIONIERER UND LITHOGRAFISCHES GERÄT

Europäisches Patent · EP3963403 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3963403
Anmeldenummer
EP20714216
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
27.03.2020
Veröffentlicht
09.03.2022
Erteilt
01.07.2026
Schutz endet spätestens
26.03.2040
Nächste Jahresgebühr fällig
31.03.2027
IPC-Klassen
G03F 7/00 (2006.01)
Priorität
EP 19172109 01.05.2019
PCT-Anmeldung
PCT/EP2020/058871 27.03.2020
PCT-Veröffentlichung
WO2020/221529 05.11.2020
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 01.07.2026

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 01.07.2026

Beteiligte

Inhaberin

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Erfinderin/Erfinder

FRENCKEN, Mark, Johannes, Hermanus

5500 AH Veldhoven, NL

NAGTEGAAL, Theodorus, Marcus

5500 AH Veldhoven, NL

VOZNYI, Oleg, Viacheslavovich

5500 AH Veldhoven, NL

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.