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Europäisches Patent · EP4133335 · In Kraft

Registereintrag

Publikationsnummer
EP4133335
Anmeldenummer
EP21709440
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
In Kraft
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
09.03.2021
Veröffentlicht
15.02.2023
Erteilt
18.06.2025
Schutz endet spätestens
08.03.2041
Nächste Jahresgebühr fällig
31.03.2026
IPC-Klassen
G03F 7/00 (2006.01)
G01F 1/06 (2006.01)
G01F 1/86 (2006.01)
G01M 3/32 (2006.01)
G01M 3/38 (2006.01)
Priorität
EP 20168356 07.04.2020
PCT-Anmeldung
PCT/EP2021/055884 09.03.2021
PCT-Veröffentlichung
WO2021/204478 14.10.2021
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 30.04.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 30.04.2026

  2. 18.06.2025

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 18.06.2025

Beteiligte

Inhaberin

ASML Netherlands B.V.

P.O. Box 324, 5500 AH Veldhoven, NL

Erfinderin/Erfinder

STEIJNS, Hubert, Matthieu, Richard

5500 AH Veldhoven, NL

AGGARWAL, Pulkit

5500 AH Veldhoven, NL

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.