TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
71254 Ditzingen
Brevetti
JUSTIERBARE OPTISCHE ANORDNUNG
EP4168841
MESSSYSTEM ZUR VERWENDUNG MIT EINEM LICHTVERSTÄRKUNGSHOHLRAUM
EP3997518
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER STRAHLLAGESTELLEINRICHTUNG
EP4424114
FOKUSSIEREINRICHTUNG MIT EINER PARALLEL ODER DECKUNGSGLEICH ZU EINER TARGETEBENE VERLAUFENDEN BILDEBENE
EP4125165
EUV-ERREGUNGSLICHTQUELLE UND EUV-LICHTQUELLE
EP4338556
EUV-LICHTQUELLE MIT EINER SEPARATIONSEINRICHTUNG
EP4331326
VARIABLE STRAHLMODULATION
EP4281823
OPTISCHE BAUGRUPPE, INSBESONDERE ZUR POLARISATION EINES LASERSTRAHLS, UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
EP3850412
STRAHLFALLE, STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG, EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSORBIEREN EINES STRAHLS
EP3265268
Titolare di 9 brevetti, 2 in vigore.
Da Swissreg, il registro dell’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale: brevetti svizzeri e brevetti europei con effetto in Svizzera. Un brevetto figura qui quando il nome del suo titolare è quello di questo ente.