Vorrichtung zur Dotierung, Beschichtung oder Oxidation von Halbleitermaterial bei niedrigem Druck

Brevetto europeo · EP2006883 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP2006883
Numero della domanda
EP08104050
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
21 mag 2008
Pubblicato
24 dic 2008
Rilasciato
18 dic 2013
Radiato
31 mag 2014
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01L 21/67 (2006.01)
Priorità
DE 102007023812 21.05.2007
DE 102007063363 28.12.2007
Lingua del deposito
tedesco

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 17 dic 2014

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 17.12.2014

  2. 18 dic 2013

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 18.12.2013

Parti

Inventore

Piechulla, Alexander

89143 Blaubeuren, DE

Rade, Claus

89604 Allmendingen, DE

Hartung, Robert Michael

89143 Blaubeuren, DE

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