Vorrichtung zur Dotierung, Beschichtung oder Oxidation von Halbleitermaterial bei niedrigem Druck
Brevetto europeo · EP2006883 · Radiato
Iscrizione nel registro
- Numero di pubblicazione
- EP2006883
- Numero della domanda
- EP08104050
- Tipo
- Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
- Stato
- Radiato
- Fascicolo
- Rilasciato
- Depositato
- 21 mag 2008
- Pubblicato
- 24 dic 2008
- Rilasciato
- 18 dic 2013
- Radiato
- 31 mag 2014
- Motivo
- Tassa annuale non pagata
- Classi IPC
- H01L 21/67 (2006.01)
- Priorità
- DE 102007023812 21.05.2007DE 102007063363 28.12.2007
- Lingua del deposito
- tedesco
- Fonte
- Swissreg
Cronologia
Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.
- 17 dic 2014
Radiato, tassa non pagata
Pubblicato in Swissreg il 17.12.2014
- 18 dic 2013
Rilasciato
Pubblicato in Swissreg il 18.12.2013
Parti
Inventore
Piechulla, Alexander
89143 Blaubeuren, DE
Rade, Claus
89604 Allmendingen, DE
Hartung, Robert Michael
89143 Blaubeuren, DE
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