GEBONDETE WAFERMETROLOGIE

Europäisches Patent · EP3507826 · Gelöscht

Registereintrag

Publikationsnummer
EP3507826
Anmeldenummer
EP17876339
Art
Europäisches Patent mit Wirkung für die Schweiz und Liechtenstein
Status
Gelöscht
Patentschrift
Erteilt
Angemeldet
27.11.2017
Veröffentlicht
10.07.2019
Erteilt
28.05.2025
Gelöscht
23.06.2026
Grund
Jahresgebühr nicht bezahlt
IPC-Klassen
H01L 21/66 (2006.01)
G06T 7/13 (2017.01)
G06T 7/60 (2017.01)
G06T 7/73 (2017.01)
G06T 7/00 (2017.01)
G01B 11/24 (2006.01)
Priorität
US 201662427373 P 29.11.2016
US 201715627834 20.06.2017
PCT-Anmeldung
PCT/US2017/063310 27.11.2017
PCT-Veröffentlichung
WO2018/102260 07.06.2018
Anmeldesprache
Englisch
Quelle
Swissreg

Verlauf

Was das Eidgenössische Institut für Geistiges Eigentum zu diesem Schutztitel veröffentlicht hat, das Neueste zuerst.

  1. 23.06.2026

    Gelöscht, Gebühr nicht bezahlt

    Schutztitelstatus
    Aktiv → Gelöscht
    Löschdatum
    23.06.2026
    Löschgrund
    Nichtzahlung Jahresgebühr

    Veröffentlicht in Swissreg am 23.06.2026

  2. 09.04.2026

    Änderung

    Veröffentlicht in Swissreg am 09.04.2026

  3. 28.05.2025

    Erteilt

    Schriftstatus
    Unveröffentlichte Patentanmeldung → Erteiltes Patent
    Schutztitelstatus
    Initiiert → Aktiv

    Veröffentlicht in Swissreg am 28.05.2025

Beteiligte

Inhaberin

KLA - Tencor Corporation

Kla-Tencor Corporation

Legal Department One Technology Drive, Milpitas, California 95035, US

Erfinderin/Erfinder

SAH, Kaushik

3010 Kessel Lo, BE

KRAH, Thomas

61169 Friedberg, DE

LI, Shifang

Pleasanton, California 94588, US

EISENBACH, Heiko

65604 Elz, DE

STOERRING, Moritz

B-1030 Brussels, BE

Das Register nennt jede Partei mit Namen und Adresse. Eine Inhaberin oder Vertretung wird mit einer Organisation verknüpft, wenn genau eine Rechtseinheit des Handelsregisters ihren Namen trägt; die Strasse einer nicht so erkannten Partei wird hier nicht gezeigt.