SIN-REINIGUNG MIT CCP-PLASMA ODER RPS-REINIGUNG

Brevetto europeo · EP4363629 · In vigore

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP4363629
Numero della domanda
EP22834031
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
In vigore
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
28 giu 2022
Pubblicato
8 mag 2024
Rilasciato
17 giu 2026
Fine della protezione al più tardi
27 giu 2042
Prossima tassa annuale dovuta
30 giu 2026
Classi IPC
C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
H10P 72/00 (2026.01)
Priorità
US 202117362925 29.06.2021
Domanda PCT
PCT/US2022/035236 28.06.2022
Pubblicazione PCT
WO2023/278388 05.01.2023
Lingua del deposito
inglese

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 17 giu 2026

    Rilasciato

    Stato del brevetto
    Domanda di brevetto non pubblicata → Brevetto rilasciato
    Stato del titolo protettivo
    Avviato → Attivo

    Pubblicato in Swissreg il 17.06.2026

Parti

Inventore

RAMALINGAM, Jothilingam

Santa Clara, California 95054, US

CAO, Yong

Santa Clara, California 95054, US

LAVITSKY, Ilya

Santa Clara, California 95054, US

MILLER, Keith A.

Santa Clara, California 95054, US

GUNG, Tza-Jing

Santa Clara, California 95054, US

TANG, Xianmin

Santa Clara, California 95054, US

LAVAN, Shane

Santa Clara, California 95054, US

SCHMIEDING, Randy D.

Santa Clara, California 95054, US

FORSTER, John C.

Santa Clara, California 95054, US

SAVANDAIAH, Kirankumar Neelasandra

Bangalore, Karnataka 560072, IN

Il registro designa ogni parte con nome e indirizzo. Un titolare o un rappresentante è collegato a un’organizzazione quando un solo ente del registro di commercio porta il suo nome; la via di una parte non riconosciuta così non è mostrata qui.