ULVAC, INC.

Chigasaki, Kanagawa 253-8543

Patents

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PLASMAÄTZVERFAHREN, PLASMAÄTZVORRICHTUNG, PLASMAVERARBEITUNGSVERFAHREN UND PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNG

EP2950333

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PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG UND WAFERTRANSPORTPLATTE

EP3098838

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TIEFULTRAVIOLETT-LED UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DAVON

EP2942818

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LICHTEMITTIERENDES HALBLEITERELEMENT UND DESSEN HERSTELLUNGSVERFAHREN

EP2955762

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MONTAGEVORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DES GLEICHEN

EP2941105

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VORRICHTUNG ZUR BILDUNG ORGANISCHER DÜNNSCHICHTEN

EP2868767

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LICHTEMITTIERENDES ELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

EP2733752

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VAKUUM-GEFRIERTROCKNUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG GEFRORENER PARTIKEL

EP2633902

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DIELEKTRISCHEN DÜNNSCHICHT

EP2626892

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VERFAHREN ZUR FORMIERUNG EINES DIELEKTRISCHEN FILMS

EP2626442

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DÜNNSCHICHTEN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON DÜNNSCHICHTEN

EP2624285

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ELEKTRONENSTRAHL-VAKUUMBEARBEITUNGSVORRICHTUNG

EP2540859

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Vorrichtung zur Herstellung einer mehrschichtigen Folie und Verfahren zur Herstellung der mehrschichtigen Folie

EP2316985

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Verfahren zur Formung eines organischen Polymerdünnfilms und Vorrichtung zur Formung eines organischen Polymerdünnfilms

EP2322688

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KATALYTISCHE CVD-VORRICHTUNG, FILMBILDUNGSVERFAHREN UND SOLARZELLENHERSTELLUNGSVERFAHREN SOWIE SUBSTRATHALTER DAFÜR

EP2484804

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FILMBILDUNGSVERFAHREN WOBEI EINE KATALYTISCHE CVD-VORRICHTUNG VERWENDET WIRD

EP2485248

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WAFER-ÜBERFÜHRUNGSLADE UND VERFAHREN ZUR BEFESTIGUNG EINES WAFERS AUF EINER LADE

EP2400536

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FILMBILDUNGSVERFAHREN

EP2381483

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Elektrodenschaltung, Schichterzeugungsvorrichtung, Elektrodeneinheit und Schichterzeugungsverfahren

CH702533

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MASKE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FILMS MIT DER MASKE

EP2351871

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GEFRIERTROCKNUNGSVORRICHTUNG

EP2320183

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GEFRIERTROCKNER

EP2320184

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GEFRIERTROCKNUNGSVORRICHTUNG

EP2320185

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SOLARZELLENHERSTELLUNGSVERFAHREN UND SOLARZELLE

EP2320474

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VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER DÜNNFILMSOLARZELLE

EP2290700

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VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER DÜNNFILMSOLARZELLE

EP2290701

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VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER DÜNNFILMSOLARZELLE

EP2293342

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Vorrichtung zur Herstellung einer Dünnfilm-Solarzelle

EP2299498

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Dünnfilm-Solarzellenherstellungsvorrichtung

EP2299477

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GEGENÜBER WASSER REAKTIVEM AL-FILM UND BAUELEMENT FÜR FILMBILDUNGSKAMMER

EP2280091

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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GEGENÜBER WASSER REAKTIVEM AL-FILM UND BAUELEMENTE FÜR FILMABSCHEIDUNGSKAMMERN

EP2281914

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GEGENÜBER WASSER REAKTIVER AL-VERBUNDWERKSTOFF, GEGENÜBER WASSER REAKTIVER AL-FILM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES AL-FILMS UND BAUELEMENT FÜR FILMABSCHEIDUNGSKAMMER

EP2281915

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GEGENÜBER WASSER REAKTIVER AL-VERBUNDWERKSTOFF, GEGENÜBER WASSER REAKTIVER AL-FILM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES AL-FILMS UND BAUELEMENT FÜR FILMBILDUNGSKAMMER

EP2284290

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GEGENÜBER WASSER REAKTIVER AL-VERBUNDWERKSTOFF, GEGENÜBER WASSER REAKTIVER AL-FILM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES AL-FILMS UND BAUELEMENT FÜR FILMABSCHEIDUNGSKAMMER

EP2287354

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SOLARZELLENHERSTELLUNGSVERFAHREN UND SOLARZELLENHERSTELLUNGSEINRICHTUNG

EP2296184

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KATALYSATOR-CVD-VORRICHTUNG

EP2374915

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MEHRSTUFIGE TROCKENPUMPE

EP2221482

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VERFAHREN ZUM AUFTRAGEN EINER DEKORATIVEN METALLSCHICHT AUF EIN HARZGRUNDMATERIAL UND HARZGRUNDMATERIAL MIT DER DEKORATIVEN METALLSCHICHT DARAUF

EP2202059

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CHALKOGENIDFILM UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG

EP2207216

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FILMBESCHICHTUNGSVORRICHTUNG MIT VERDAMPFER FÜR ORGANISCHES MATERIAL

EP2187708

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