Elektronenstrahlenempfindlicher Resist

Brevetto europeo · EP0088977 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP0088977
Numero della domanda
EP83102212
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
7 mar 1983
Pubblicato
21 set 1983
Rilasciato
1 giu 1988
Radiato
31 mar 1990
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
G03F 7/10 (1985.01)
Priorità
US A 357381 12.03.1982
US A 381287 24.05.1982
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 24 ott 2024

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 24.10.2024

  2. 15 lug 1988

    Rilasciato

    Pubblicato nel FBDM N. 13 dell'anno 1988

Parti

Titolare

GAF Corporation

1361 Alps Road, Wayne/NJ, US

Rappresentante

R.A. Egli & Co, Patentanwälte

R. A. Egli & Co. Patentanwälte

Horneggstrasse 4, 8008 Zürich

Inventore

Lorenz, Donald H.

Basking Ridge, NJ 07920, US

Williams, Earl P.

Pen Argyl, PA 18072, US

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