Systeme d'etching par plasma à chambres multiples
Brevetto europeo · EP0264945 · Radiato
Iscrizione nel registro
- Numero di pubblicazione
- EP0264945
- Numero della domanda
- EP87115508
- Tipo
- Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
- Stato
- Radiato
- Fascicolo
- Rilasciato
- Depositato
- 22 ott 1987
- Pubblicato
- 27 apr 1988
- Rilasciato
- 13 mar 1996
- Radiato
- 13 mar 1996
- Motivo
- Revocato in opposizione
- Classi IPC
- H01L 21/00 (2006.01)H01J 37/20 (2006.01)H01J 37/18 (2006.01)
- Priorità
- US 923125 24.10.1986
- Lingua del deposito
- inglese
- Fonte
- Swissreg
Cronologia
Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.
- 25 giu 2024
Modifica
Pubblicato in Swissreg il 25.06.2024
- 15 ott 1997
Modifica
Pubblicato nel FBDM N. 19 dell'anno 1997
- 28 giu 1996
Rilasciato
Pubblicato nel FBDM N. 12 dell'anno 1996
- 15 mar 1996
Rappresentante iscritto
- Rappresentante
- A. Braun, Braun, Héritier,, Eschmann AG, Patentanwälte, Holbeinstrasse 36-38, 4051 Basel
Pubblicato nel FBDM N. 5 dell'anno 1996
Parti
Inventore
Maher, Joseph A.
South Hamilton Massachusetts, US
Vowles, E. John
Goffstown Massachusetts, US
Napoli, Joseph D.
Winham New Hampshire, US
Zafiropoulo, Arthur W.
Manchester Massachusetts, US
Miller, Mark W.
Burlington Massachusetts, US
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