Système de vaporisation pour source d'ions

Brevetto europeo · EP0291341 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP0291341
Numero della domanda
EP88304375
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
13 mag 1988
Pubblicato
17 nov 1988
Rilasciato
14 mar 1990
Radiato
31 mag 1997
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01J 37/08 (2006.01)
H01L 21/203 (2006.01)
Priorità
US A 51076 15.05.1987
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 15 gen 1998

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato nel FBDM N. 1 dell'anno 1998

  2. 30 apr 1990

    Rilasciato

    Pubblicato nel FBDM N. 8 dell'anno 1990

Parti

Titolare

Varian Associates, Inc.

611 Hansen Way, Palo Alto/CA, US

Rappresentante

Bovard AG

Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25

Inventore

Satoh, Shu

Rowley Massachusetts 01969, US

Evans, Louis E., jun.

Rockport Massachusetts 01966, US

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