Ventilation d'une installation de traitement sous vide

Brevetto europeo · EP0346018 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP0346018
Numero della domanda
EP89305588
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
2 giu 1989
Pubblicato
13 dic 1989
Rilasciato
5 ott 1994
Radiato
30 giu 1997
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01L 21/00 (2006.01)
C23C 16/52 (2006.01)
Priorità
US A 203009 06.06.1988
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 13 feb 1998

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato nel FBDM N. 3 dell'anno 1998

  2. 15 nov 1994

    Rilasciato

    Pubblicato nel FBDM N. 21 dell'anno 1994

Parti

Titolare

Varian Associates, Inc.

611 Hansen Way, Palo Alto/CA, US

Rappresentante

Bovard AG

Optingenstrasse 16, 3000 Bern 25

Inventore

Milgate, Robert W., III

Gloucester MA 01930, US

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