VORRICHTUNG FÜR EIN PLASMAVERFAHREN

Brevetto europeo · EP1376669 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP1376669
Numero della domanda
EP02708711
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
28 mar 2002
Pubblicato
2 gen 2004
Rilasciato
9 mag 2007
Radiato
31 mar 2013
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
H01L 21/31 (2006.01)
H05H 1/46 (2006.01)
H01L 21/3065 (2006.01)
H01J 37/32 (2006.01)
Priorità
JP 2001094271 28.03.2001
Domanda PCT
PCT/JP2002/003109 28.03.2002
Pubblicazione PCT
WO2002/080250 10.10.2002
Lingua del deposito
giapponese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 23 ott 2013

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 23.10.2013

  2. 31 mag 2011

    Indirizzo modificato

    Rappresentante
    Novagraaf International SA, 25, avenue du Pailly, 1220 Les Avanchets → Novagraaf International SA, Chemin de l'Echo 3, 1213 Onex

    Pubblicato in Swissreg il 31.05.2011

  3. 31 ago 2007

    Rappresentante iscritto

    Rappresentante
    Novagraaf International SA, 25, avenue du Pailly, 1220 Les Avanchets

    Pubblicato nel +pat+ no. 16 dell'anno 2007

  4. 31 mag 2007

    Rilasciato

    Pubblicato nel +pat+ no. 10 dell'anno 2007

Parti

Titolare

OHMI, Tadahiro

1-17-301, Komegabukuro 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi-ken 980-0813, JP

Tokyo Electron Limited

TOKYO ELECTRON LIMITED

3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481, JP

Rappresentante

Novagraaf International SA

Chemin de l'Echo 3, 1213 Onex

Inventore

OHMI, Tadahiro

Sendai-Shi, Miyagi 980-0813, JP

HIRAYAMA, Masaki, c/o New Ind. Creation Hatch.Cent

Sendai-Shi, Miyagi 980-8579, JP

SUGAWA, Shigetoshi, c/o Manag. of Science & Techn.

Aramaki, Aoba-ku Sendai-Shi, Miyagi 980-, JP

GOTO, Tetsuya, c/o NEW IND. CR. HATCHERY CTER

Sendai-Shi, Miyagi 980-8579, JP

Il registro designa ogni parte con nome e indirizzo. Un titolare o un rappresentante è collegato a un’organizzazione quando un solo ente del registro di commercio porta il suo nome; la via di una parte non riconosciuta così non è mostrata qui.