Interferometrische Analyse von Oberflächen

Brevetto europeo · EP2275868 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP2275868
Numero della domanda
EP10177299
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
15 set 2004
Pubblicato
19 gen 2011
Rilasciato
28 feb 2018
Radiato
30 set 2018
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
G03F 7/20 (2006.01)
G01B 9/02 (2006.01)
G01B 11/00 (2006.01)
Priorità
US 502932 P 15.09.2003
US 502933 P 15.09.2003
US 502907 P 15.09.2003
US 502930 P 15.09.2003
US 539437 P 26.01.2004
Divisionale di
EP04788766
Lingua del deposito
inglese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 17 apr 2019

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 17.04.2019

  2. 28 feb 2018

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 28.02.2018

Parti

Titolare

ZYGO CORPORATION

Zygo Corporation

21 Laurel Brook Road, Middlefield, CT 06455-0448, US

Inventore

De Groot, Peter J.

Middletown, CT 06457, US

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