KATALYSATOR-CVD-VORRICHTUNG

Brevetto europeo · EP2374915 · Radiato

Iscrizione nel registro

Numero di pubblicazione
EP2374915
Numero della domanda
EP08878723
Tipo
Brevetto europeo con effetto per la Svizzera e il Liechtenstein
Stato
Radiato
Fascicolo
Rilasciato
Depositato
9 dic 2008
Pubblicato
12 ott 2011
Rilasciato
22 gen 2014
Radiato
31 dic 2014
Motivo
Tassa annuale non pagata
Classi IPC
C23C 16/44 (2006.01)
H01L 21/205 (2006.01)
Domanda PCT
PCT/JP2008/072353 09.12.2008
Pubblicazione PCT
WO2010/067424 17.06.2010
Lingua del deposito
giapponese
Fonte
Swissreg

Cronologia

Ciò che l’Istituto Federale della Proprietà Intellettuale ha pubblicato su questo titolo, dal più recente.

  1. 22 lug 2015

    Radiato, tassa non pagata

    Pubblicato in Swissreg il 22.07.2015

  2. 22 gen 2014

    Rilasciato

    Pubblicato in Swissreg il 22.01.2014

Parti

Titolare

ULVAC, INC.

Ulvac, Inc.

2500, Hagisono, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP

Inventore

OSONO, Shuji

Sammu-shi Chiba 289-1226, JP

HASHIMOTO, Masanori

Sammu-shi Chiba 289-1226, JP

ASARI, Shin

Sammu-shi Chiba 289-1226, JP

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